Agilent HLD MD30 移动式干式氦气检漏仪采用专用于检测氦气的质谱仪，以氦气作为示踪气体来定位和/或测量封闭设备或系统中的微小泄漏。移动式 HLD MD30 是一款精密又耐用的仪器，具有简便易用的触摸屏界面和菜单结构，便于用户快速利用其大的检漏功能。内置的应用设置可缩短设置参数的时间，可保存设置以确保重复性。集成式滚轮，便于移动。
包括一个无油 Agilent TriScroll 620 涡旋式干泵（抽气速率：30 m3/h），用于极快速地排空测试部件和系统，以及在测试循环之间快速清除本底氦气。
移动式干式氦气检漏仪特性
· 六个不同的应用设置向导有助于您将仪器正确地配置以获得理想性能，确保恰当地设置参数以便完整、有效地进行测试
· 工业触摸屏界面更大、更耐用且响应更灵敏，能够 180° 旋转，非常便于查看
· 简明、直观的用户界面，提供常用功能的快速访问以及扁平的菜单结构，方便您快速查找所需设置
· 开机向导能够简化接通电源后对仪器的设置
· 增强的图表功能，包括便于仔细检查数据的放大模式、彩色标记的设定值以及记录泄漏速率和压力的时间曲线
· 更大的工作台面为需要测试的部件和工具等提供了充足的空间。
· 经改善的关机程序能够使质谱室在关机后保持真空状态并保护涡轮分子泵
· 更强的机动性有助于更轻松到达半导体生产线或其他生产环境中狭窄的服务区域和范围
· 干式真空泵可避免泵油污染被检部件和系统
· 发货时附带电源线
· HLD 重量考虑了仪器配置和安装的功能
性能指标
| 初级泵 | · Dry Scroll Pump |
| 可选择的语言 | · 中文 · 英语 · 法语 · 德语 · 日语 · 韩语 · 俄语 · 西班牙语 |
| 应用设置向导 | · 吸枪 · 氦气喷枪 · 自动排序器（可编程测试循环） · 高灵敏度 · 分流流速 · PPM 吸枪 |
| 形状因数 | · 移动式推车已安装 |
| 抽速 | · 30 m³/h · 18 cfm |
| 最大测试接口压力 | · 13 mbar (10 Torr, 1333 Pa) |
| 校准 | · 自动内部和外部 · 能够在测试时检查校准 |
| 灵敏度 | · 5 x 10-12 mbar•L/s，5 x 10-12 atm•cc/s，5 x 10-13 Pa•m3/s |
| 用户界面 | · 21 cm (8.4 inch) touch screen |
| 通讯接口 | · 模拟输出和串行通信为标准配置 · 可选独立式 I/O 接口 |
| 重量 | · 194 lb · 88 kg |
| 附件和选件 | · 无线遥控器 (100 m) · 独立式 I/O 接口 · 恶劣环境专用吸枪 · 自动测试装置 · 测试盒装置连接电缆 |
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