产品详情
全自动偏光应力仪NMV-145-Wafer是一款全自动检测具有应力与双折射的透明物体内部光程差和快/慢轴方向的二次元定量测量装置，特别针对晶圆样品，具有很好的测量效果。
测量原理：光线经过偏振片变成圆偏振光，透过有应力的样品时，双折射的慢轴快轴产生光程差，出射光变成椭圆偏振光，通过旋转检偏镜，获得四个偏振态的图像，从而计算出样品的应力大小及快/慢轴方向。
应用领域
三代化合物晶圆片、玻璃晶圆片、精密光学元件的内应力检测。
全自动偏光应力仪产品特点
1.视野范围内的一键全场应力自动测量；
2.各点应力轴向方向可以与应力同时显示，便于分析应力种类；
3.结果以3D视图模式显示，直观显示各点应力高低；
4.采用背景光校准，消除环境误差；
5.光源采用特殊设计，具有很好的准直性及均匀性
；
6.兼容2-12英寸的晶圆应力测量，可定制化产品载台;
7.通过电脑连接相机采集样品图片，可轻松存储测量数据及显示应力的二维分布图像；
产品参数
序号 | 项目 | 参数 |
1 | 外观尺寸 | W*D*H:1000*1100*1800mm（三色灯除外） |
2 | 测量区域尺寸 | 2-12英寸 |
3 | 检测方法 | 旋转偏光法 |
4 | 测量波长 | 525nm |
5 | 光程差范围 | 0～130nm |
6 | 轴角度范围 | 0-180° |
7 | 重复测量精度(标准偏差) | 1nm |
8 | 相机分辨率 | 500万像素 |
9 | 光源 | 平行光源 |
10 | 产品载台 | 电动X/Y位移平台，支持自动拼接 |
11 | 配件 | 测量主体、PC、线缆 |
12 | 支持系统 | Windows10 |
13 | 使用环境 | 室内使用 |
14 | 环境温度 | 15℃～35℃ |
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